微纳电子技术2025年01期
- 技术论坛
- 微流控系统中的微流体驱动技术研究进展陈卓;金伟;杨祥良;杨海;
- 紫外光激发金属氧化物气体传感器研究进展顾子琪;曹兆玉;薄良波;郑晓虹;
- 磁控溅射工艺参数和材料对铜薄膜性能影响的研究进展刘冰;张京辉;陈平;江峰;董晨博;
- 器件与技术
- 二次塑封的光电耦合器内封装结构研究与优化李李;兰玉平;肖雪芳;
- 复合衬底薄膜砷化镓太阳电池技术研究郭哲俊;施祥蕾;周丽华;张占飞;钱勇;吴敏;李彬;王波;孙利杰;王训春;
- 基于紫外氪灯模型的等离子体放电物理特性研究李文;骆紫云;王岽;周豪;郦和生;薛琳;
- 材料与结构
- 纳米颗粒状MoO_2@碳纳米管复合纤维电极的制备及其电性能官群;李永鹏;
- MEMS与传感器
- 电离式雾霾颗粒传感器的超声波清灰研究张勇;解靓;李小玉;王春祺;陈麒宇;孙金荣;
- 基于微流控技术的单细胞捕获培养和精准打印倪皖江;王琨;张婷婷;关一民;刘德盟;
- 用于输电铁塔驱鸟的多源能量采集器设计与研究邢雨航;齐文东;卢筱蕾;崔明星;李忻睿;于鑫;
- 摩擦电式低频振动能量收集装置及其电源管理电路崔明星;李忻睿;王俊浩;齐文东;于鑫;
- 一种小体积MEMS传感器数据记录仪尚义航;赵凯明;段俊萍;张斌珍;
- 基于通信光缆振动监测的轨道病害实时预警技术研究王建军;邹聪聪;李杨;吴宇;时瑾;
- 加工、测量与设备
- 双面化学机械抛光工艺中抛光工况优化王现刚;刘奕然;曹军;
- 高深宽比梳齿结构刻蚀工艺康建波;商庆杰;宋洁晶;
- 纳米颗粒气溶胶喷印参数的正交实验研究陈赛;舒霞云;常雪峰;邱光富;赵飞龙;
- 立式雾化辅助CVD系统的设计与实现赵丹;向星承;詹宇;陈茵豪;秦源涛;肖黎;龚恒翔;
- 加工参数对HTCC生瓷片通孔质量的影响马栋栋;张鑫磊;程换丽;王杰;刘曼曼;
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